Технология подготовки и применения высокочистых вольфрамовых мишеней

Время выхода:

2024-02-27

Тугоплавкий металлический вольфрам и вольфрамовый сплав обладают преимуществами хорошей стабильности при высоких температурах, высокой устойчивости к миграции электронов и высокого коэффициента эмиссии электронов. Высокочистые вольфрамовые и вольфрамовые сплавы в основном используются для изготовления электродов затвора полупроводниковых интегральных схем, соединительных проводов, диффузионных барьерных слоев и т. Д. Чистота материала, содержание примесей, плотность, размер зерна и однородность зерновой ткани предъявляют чрезвычайно высокие требования.

I. Влияние температуры спекания

Процесс формования вольфрамового эмбриона, как правило, изотермируется холодным изостатическим прессованием. Зерна вольфрама будут расти во время спекания. Рост зерна вольфрама заполнит пустоту между граней зерен, тем самым увеличивая вольфрамовую мишень. плотность. С увеличением числа спеканий увеличение плотности вольфрамовых мишеней постепенно замедляется. Основная причина заключается в том, что после многократного спекания качество вольфрамовой мишени не сильно изменилось. Поскольку пустоты в границе зерен в основном заполнены кристаллами вольфрама, после каждого спекания общая скорость изменения размера вольфрамовой мишени уже мала, что приводит к ограниченному пространству для увеличения плотности вольфрамовой мишени. По мере того, как происходит спекание, растущие зерна вольфрама заполняются в пустоты, что приводит к более высокой герметичности мишени с небольшим размером частиц.

Влияние времени изоляции

При той же температуре спекания, с увеличением времени теплоизоляции спекания, уплотнительность вольфрамовой мишени была соответственно улучшена. С увеличением времени теплоизоляции размер зерна вольфрама увеличился, и с увеличением времени теплоизоляции Умножение размера зерна постепенно замедляется, это показывает, что увеличение времени изоляции может также улучшить характеристики вольфрамовой мишени.

Влияние прокатки на свойства мишени

Для того чтобы увеличить плотность материала вольфрамовой мишени и в то же время дать вольфрамовой мишени получить обработанную ткань, среднетемпературную прокатку вольфрамовой мишени необходимо проводить ниже температуры рекристаллизации. Температура прокатки заготовки мишени высока, и волокнистая ткань заготовки мишени относительно толстая, в противном случае волокнистая ткань мишени тоньше. Когда скорость обработки при термопрокате составляет более 95%. Несмотря на то, что разница в тканях волокон из-за различных необработанных зерен или из-за различных температур прокатки будет устранена, внутренняя ткань мишени образует более однородную волокнистую ткань, поэтому чем выше скорость обработки при термопрокатке, тем лучше свойства мишени.

Предыдущая страница:

Mactwei новый материал титановые продукты возможности поставки Обновлено

Следующая страница:

Причины текстуры на поверхности ниобиевых мишеней

Связанный контент

Применение и исследование вольфрамо-молибденовых материалов в аэрокосмической технологии

2025-01-17

Плазменное азотирование молибденовых изделий

2025-01-13

Разница между чистой пятиосевой обработкой и обработкой 3+2 оси заключается в следующем: 1. **Чистая пятиосевая обработка**: В этом процессе инструмент может двигаться по всем пяти осям одновременно. Это позволяет обрабатывать сложные детали с высокой точностью и минимальными ограничениями на геометрию. Пятиосевая обработка особенно полезна для создания сложных форм и деталей, требующих многогранной обработки. 2. **Обработка 3+2 оси**: В этом методе инструмент работает в трех осях (X, Y, Z), но с возможностью поворота детали в двух дополнительных осях (A и B) для достижения нужного угла. Это позволяет обрабатывать детали, которые не могут быть обработаны в обычной трехосевой системе, но не обеспечивает такой же уровень гибкости и точности, как чистая пятиосевая обработка. В общем, выбор между этими двумя методами зависит от сложности детали и требований к точности обработки.

2025-01-10

Вольфрамовый сплав с высокой плотностью W152